随着半导体产能逐步向中国大陆转移，我们预计国产检测设备将迎来发展东风，本土检测设备厂商有望成为设备进口替代的先行者。本文对半导体检测设备进行了深入的分析。

乘晶圆厂建设东风，检测设备迎来发展良机

检测贯穿集成电路制造全程，是保证良率的关键。我们估算2018/19年中国大陆检测设备市场空间为149/218亿元，同比增长43%/47%。其中前道/后道检测设备市场空间将分别从2018年的84/64亿元增长47%至2019年的124/94亿元，市场空间广阔。

前道过程控制检测：

国产设备有望从细分领域突围

1)涵盖多种细分设备，覆盖各类参数检测。前道检测针对膜厚、膜应力、折射率、线宽等关键参数进行测量，主要设备包括有图形晶圆光学检查设备/掩膜检查设备/薄膜测量设备/关键尺寸扫描电子显微镜等，预计以上设备2019e中国大陆市场空间分别为40/16/15/12亿元。

2)外资主导市场，国产设备有望从细分领域突围。科磊/日立/应用材料分别拥有53%/13%/12%的份额，CR3达79%，市场基本被外资占据。目前上海睿励在光学测量方面实现国产化，精测电子（300567）也已有布局，国产商未来有望在部分细分领域取得突破。

后道检测：部分国产企业初露峥嵘，

下游应用领域有待拓展

1)三类设备合计市场空间百亿。后道检测设备包括测试机、分选机和探针台三类，我们估算以上设备2019e中国大陆市场空间分别为67/10/17亿元。

2)外资占据主导，部分企业实现进口替代。2017年，龙头企业泰瑞达、爱德万、科休和科利登的市场份额分别为35%、26%、7%和7%，CR2/CR4达61%/75%，市场高度集中。目前已有本土企业在某些细分领域实现国产化，如长川科技（300604）在模拟/数模混合电路的测试机和分选机领域实现了进口替代，精测电子也有产品在研，但国产高端数字电路和SoC检测依然有待拓展。

随着中国大陆的晶圆厂设备投入进入高峰期，国产设备厂商也迎来发展良机。我们预计本土检测设备厂商有望成为设备进口替代的先行者。

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