中国半导体产业关键设备进口依赖问题依然严峻，自主可控需求迫切

据《科创板日报》5 月 12 日报道，《科创板日报》记者 12 日晚间从供应链获悉，美国部分半导体设备制造商发出信函，要求中国国内从事军民融合或为军品供应集成电路的企业，不得用美国清单厂商半导体设备代工生产军用集成电路，同时“无限追溯”机制生效。我们认为，该消息一定程度上折射了目前中国半导体产业链对海外设备企业的依赖度仍然较高，国际贸易摩擦持续和技术竞争较为激烈的环境下，设备自主可控需求将更加迫切，初步具备进口替代能力的本土半导体设备龙头发展有望进一步加快。

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设备国产化机遇与挑战并存，内资晶圆厂崛起提供设备进口替代机会目前国产设备企业整体技术实力和研发投入仍与海外龙头存在较大差距，实现全面技术追赶任重道远；但值得关注的是，目前中芯国际、长江存储、合肥长鑫等本土晶圆厂分别在逻辑电路、3D NAND、DRAM 存储芯片领域布局先进制程产能且技术逐步成熟，为国产设备提供了验证试用平台。以长江存储为例，据中国国际招标网公告，2017 年至今设备已中标本土企业包括：中微公司（刻蚀设备）、北方华创（刻蚀、PVD、热处理、清洗设备）、沈阳拓荆（CVD 设备）、盛美半导体（清洗设备）、华海清科（CMP 设备）、上海睿励（工艺检测设备）、精测电子（工艺检测、测试设备）、中科仪等。

本土扩产+新型基建发力，中国设备需求韧性强劲，本土龙头有望受益

　我们认为，虽然海外新冠疫情的扩散或对全球半导体产业的景气度及设备需求带来一定不确定性，但中国大陆目前正处于晶圆产能扩张的历史机遇期，逆周期投资为本土设备需求提供了较强成长韧性。同时，在国内新型基建投资发力背景下，5G、人工智能、云计算等产业有望加快发展，半导体设备作为核心底层硬件支撑产业亦将较为受益。相比于海外半导体设备企业，本土企业有望依托庞大的本土市场机遇逆势崛起，2020 年有望成为本土企业产品技术加快突破、收入及订单较快增长的关键之年。

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目前国内半导体设备产业体系逐步完善，优势企业初步具备进口替代能力，我们认为以下企业是具备较高技术水平的国产装备龙头。上市公司包括：北方华创（产品品类覆盖广的本土装备龙头）、中微公司（刻蚀机供应国内外一线晶圆厂）、长川科技（探针台、数字测试机新品蓄力）、华峰测控（测试机本土领先企业）、晶盛机电（硅片制造设备）、芯源微（涂胶显影设备、湿法设备），非上市公司包括：上海微电子（光刻设备）、沈阳拓荆（薄膜沉积设备）、中科仪（真空获得设备、薄膜沉积设备）、盛美半导体（清洗设备）、华海清科（CMP 设备）、南京晶升能源（硅片制造设备）等。